ULVAC 便携式高速光谱椭圆仪手动载物台类型兼容φ150mm UNECS 系列 UNECS-1500M-monotaro168 日本物太郎 monotaro专业日本工业产品供应商

ULVAC 株式会社

业务描述显示器、半导体、电子、电气、
金属、机械、汽车、化学、食品、制药、大学、研
究机构用真空设备、周边设备、真空元件、材料的
开发、制造和销售，以及客户支持和各种机器的进
出口。
此外，一般真空技术的研究指导和技术咨询。
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钟先生：186-8849-6582

氦气泄漏检测氦气检漏仪泵干泵小型干泵机
械增压泵旋片泵旋转柱塞泵油扩散泵薄膜测量
石英晶体监视器椭圆偏振光谱法铜膜测量系统
表极高真空计电离仪皮拉尼仪表
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.手动载物台类型兼容Φ150mm

UNECS系列是一种光谱椭圆仪，可高速、高精度地测量薄膜的厚度和折射率。
采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。
根据应用的不同，我们拥有独特的便携式类型、自动载物台类型和支持真空环境的内置设备的广泛阵容。
UNECS-1500M 配备手动 R-θ 载物台，支持 Φ150 mm，操作方便，便于测量定位。

长处
高速测量：
独特的快照方式，实现最高速度20ms的高速测量。
可见光谱支持：
波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光谱型（380nm~760nm）。
紧凑型传感器单元：
发光和接收器传感器仅由光学元件组成，没有旋转机构，非常轻巧紧凑，不需要定期维护。
广泛的产品阵容：我们拥有适用于各种用途的产品阵容，包括独特的便携式类型、手动/自动载物台类型、大型基板类型以及
用于大气和真空环境的内置设备类型。
用
测定透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蚀剂、ITO 等）的薄膜厚度、折射率和衰减系数
规范
波长范围 530~750纳米，380~760纳米（任选一）
光斑直径 Φ1毫米，Φ0.3毫米（任选）
入射角 70° 固定
薄膜厚度再现性 1σ = 0.1nm
薄膜厚度范围 1纳米~2微米
测量时间接收：20ms ~ 3000ms 工作：300ms
阶段 Φ150mm手动R-θ载物台
控制电脑笔记本型（带操作和分析软件）
设备配置测量单元（手动载物台，带控制箱），光源单元，操作PC（笔记本电脑型）
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ULVAC 便携式 高速光谱椭圆仪 手动载物台类型兼容φ150mm UNECS 系列 UNECS-1500M

ULVAC 便携式高速光谱椭圆仪手动载物台类型兼容φ150mm UNECS 系列 UNECS-1500M